楷德电子取得一种单晶拉棒炉能耗监测装置专利,进一步提高氩气纯度

楷德电子取得一种单晶拉棒炉能耗监测装置专利,进一步提高氩气纯度
2024年12月14日 12:15 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年12月14日消息,国家知识产权局信息显示,楷德电子工程设计有限公司取得一项名为“一种单晶拉棒炉能耗监测装置”的专利,授权公告号CN 222139350 U,申请日期为2024年4月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种单晶拉棒炉能耗监测装置,包括过滤组件,所述过滤组件包括过滤箱、进气管、盖板、安装座、四个滑槽、两个限位板、两个安装导轨、两个网笼、四个滑轨、均流板、限位座和插杆。本实用新型通过两个网笼装载分子筛和锆铝合金粉末,然后将网笼安装在过滤箱内,当单晶炉在工作时,通过布风板对氩气进行导流,然后通过分子筛和锆铝合金粉末,去除氩气中的水分子和其他微量的杂质气体,进而进一步提高其纯度,提纯后的氩气流入单晶炉中,通过安装过滤组件,在不影响监测氩气消耗量的同时,还实现了对氩气的过滤净化,提高了氩气的纯度,进而丰富了整体功能,提高了单晶硅的生产质量。

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