本文源自:金融界
金融界2024年12月17日消息，国家知识产权局信息显示，东莞市晟鼎精密仪器有限公司申请一项名为“种桌面式快速退火炉”的专利，公开号 CN 119121413 A，申请日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显示，本发明公开了晶圆生产设备技术领域的一种桌面式快速退火炉，包括第一壳体，还包括炉体，所述炉体固定设置在第一壳体内，所述炉体内固定连接有多个分上下两层分布的加热灯；保温壳，所述保温壳外壁固定连接有第二壳体，所述第二壳体外接有水冷装置；固定机构，所述固定机构滑动设置在保温壳内，所述固定机构用于安装晶圆；导气机构，所述导气机构用于改变保温壳内的气体成分；炉门，所述炉门能够带动固定机构滑出保温壳，本发明提出的一种桌面式快速退火炉，经过腔体结构及整体结构布局的设计，整机尺寸做到小型化，结合多个加热灯排布加热，第二壳体高导热性受热，可以快速升温，且控温精度准确，温度均匀性好。
