无锡冠亚恒温制冷技术申请一种半导体用双通道制冷加热切换温控系统专利,实现快速的冷热切换,大幅缩短晶圆升降温所需的时间

无锡冠亚恒温制冷技术申请一种半导体用双通道制冷加热切换温控系统专利,实现快速的冷热切换,大幅缩短晶圆升降温所需的时间
2025年01月30日 14:15 金融界网站

本文源自:金融界

金融界 2025 年 1 月 30 日消息,国家知识产权局信息显示,无锡冠亚恒温制冷技术有限公司申请一项名为“一种半导体用双通道制冷加热切换温控系统”的专利,公开号 CN 119374279 A,申请日期为 2024 年 12 月。

专利摘要显示,本发明公开一种半导体用双通道制冷加热切换温控系统,包括:第一温控系统和第二温控系统;第一温控系统包括第一循环液回路;第二温控系统包括第二循环液回路和制冷回路;第一循环液回路包括第一循环液箱、第一循环液泵、加热器、第一阀门、第二阀门和第三阀门;第三阀门的一端与加热器和第一阀门之间的管路连接,第三阀门的另一端与第二阀门和第一循环液箱之间的管路连接;第二循环液回路包括第二循环液箱、第二循环液泵、第四阀门、第五阀门和第六阀门;第六阀门的一端与第二循环液泵和第四阀门之间的管路连接,第六阀门的另一端与第五阀门和第二循环液箱之间的管路连接。本发明的技术方案,实现快速的冷热切换,大幅缩短晶圆升降温所需的时间。

天眼查资料显示,无锡冠亚恒温制冷技术有限公司,成立于2010年,位于无锡市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本6000万人民币,实缴资本700万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡冠亚恒温制冷技术有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目63次,知识产权方面有商标信息24条,专利信息136条,此外企业还拥有行政许可14个。

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