先微精艺申请适用于半导体化学药液输送的防滴漏阀专利,响应迅速

先微精艺申请适用于半导体化学药液输送的防滴漏阀专利,响应迅速
2025年03月28日 11:15 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2025年3月28日消息,国家知识产权局信息显示,先微精艺(苏州)科技有限公司申请一项名为“一种适用于半导体化学药液输送的防滴漏阀”的专利,公开号CN 119687263 A,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本发明涉及一

种适用于半导体化学药液

输送的防滴漏阀,包括有阀

本体,阀本体内分布有导通

控制腔,导通控制腔位于阀

本体的两侧分布有流入机

构与流出机构,阀本体的上

端安装有执行器主体,阀本

体的下端安装有自动回吸

下执行体,执行器主体的侧

面分布有气源接口;执行器

主体的上端安装有上执行

体,执行器主体内安装有控

制轴执行器主体与阀本体的结合端面安装有上隔膜上隔膜

的上端与控制轴接触;自动回吸下执行体内安装有下隔膜,下

隔膜上连接有密封锥,密封锥的上端与上隔膜接触,密封锥的

上端位于导通控制腔内。采用下隔膜、上隔膜的相互配合,可通

过气源的流入来控制腔内压差而进行导通控制,响应迅速。

天眼查资料显示,先微精艺(苏州)科技有限公司,成立于2023年,位于苏州市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本3750万人民币,实缴资本1300万人民币。通过天眼查大数据分析,先微精艺(苏州)科技有限公司参与招投标项目15次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息12条,此外企业还拥有行政许可7个。

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