中芯国际申请半导体结构及其形成方法专利,减小器件纵向尺寸,提高器件性能稳定性

中芯国际申请半导体结构及其形成方法专利,减小器件纵向尺寸,提高器件性能稳定性
2025年04月28日 12:42 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2025年4月28日消息,国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法”的专利,公开号 CN 119866045 A,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,一种半导体结构及其形成方法,其中结构包括:衬底,衬底包括:第一半导体层、位于第一半导体层表面的绝缘层以及位于绝缘层上的第二半导体层,衬底包括:沿平行于衬底表面的第一方向排布的相邻的第一区域和第二区域;位于沟道区两侧的第一区域内的源漏通孔,源漏通孔暴露出绝缘层表面;位于源漏通孔内的源漏结构;位于第二区域内的栅极通孔,栅极通孔与沟道区相邻,且栅极通孔暴露出绝缘层表面;位于栅极通孔内的栅极结构。源漏通孔与栅极通孔在垂直于衬底表面的方向上的尺寸相等,使得栅极结构与源漏结构位于同层,减小了器件的纵向尺寸,提高制成工艺的均一性和稳定性,进而提高器件性能稳定性。

天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,成立于2002年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本100000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目51次,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可226个。

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