道格特申请 MEMS 模式晶圆及 MEMS 探针卡检测专利,实现 MEMS 探针卡的高效测试

道格特申请 MEMS 模式晶圆及 MEMS 探针卡检测专利,实现 MEMS 探针卡的高效测试
2025年05月08日 11:16 金融界网站

本文源自:金融界

金融界 2025 年 5 月 8 日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市道格特科技有限公司申请一项名为“MEMS 模式晶圆及 MEMS 探针卡检测方法、装置、存储介质”的专利,公开号 CN119936771A,申请日期为 2025 年 4 月。

专利摘要显示,本申请涉及一种 MEMS 模式晶圆及 MEMS 探针卡检测方法、装置、存储介质。检测方法应用于 MEMS 晶圆检测设备,包括:加载待测 MEMS 探针卡的测试配置参数;将待测 MEMS 探针卡固定在测试设备的探针座上;将与待测 MEMS 探针卡匹配的 MEMS 模式晶圆放置在测试设备的测试平台上的预设目标位置;MEMS 模式晶圆中包括与待测 MEMS 探针卡对应的待测 MEMS 晶圆相同的测试点阵列;启动视觉对准系统,将待测 MEMS 探针卡与 MEMS 模式晶圆对齐;对待测 MEMS 探针卡进行校准;执行待测 MEMS 晶圆测试任务,对述待测 MEMS 探针卡进行检测。使用 MEMS 模式晶圆,自动化执行测试任务,实现 MEMS 探针卡的高效测试。

天眼查资料显示,深圳市道格特科技有限公司,成立于2011年,位于深圳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本762.3792万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市道格特科技有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目15次,财产线索方面有商标信息14条,专利信息61条,此外企业还拥有行政许可23个。

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