金融界2024年11月19日消息，国家知识产权局信息显示，江苏启微半导体设备有限公司及上海至纯洁净系统科技股份有限公司取得一项名为“一种防溢流装置及供液装置”的专利，授权公告号 CN 222015353 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开一种防溢流装置及供液装置，应用于湿法设备；所述溢流装置包括至少一个供液箱以及至少一个水封箱，所述水封箱与所述供液箱一一对应；所述水封箱用于防止所述供液箱溢流出的化学药液发生反应反流回所述供液箱；所述供液箱与对应的所述水封箱通过溢流管道连接；所述溢流管道的一端伸入所述水封箱，用于排放所述供液箱溢流出的化学药液；所述水封箱通过一一端伸入所述水封箱中的排污管道将所述水封箱中的废水排出；所述溢流管道伸入所述水封箱中的一端低于所述排污管道伸入所述水封箱内的一端。本实用新型中通过与供液箱一一对应的水封箱，可以防止供液箱溢流出的化学药液发生反应反流回供液箱，以提高供液箱中化学药液的品质以及纯净度。
