金融界2024年11月23日消息，国家知识产权局信息显示，江苏亚电科技股份有限公司取得一项名为“一种晶圆清洗用磷酸溶液加热装置”的专利，授权公告号 CN 222029052 U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本申请涉及一种晶圆清洗用磷酸溶液加热装置，设置三个加热器，预加热罐内的第一加热器将磷酸清洗液加热到80℃‑90℃，80℃‑90℃的磷酸溶液较为稳定，不容易失水，并且粘度适中，由于磷酸溶液预先进行加热减少了第二加热器的加热工作量，使得整体生产时间缩短。在晶圆清洗阶段，由循环加热器维持磷酸清洗槽内温度稳定。
