南通元兴智能科技申请半导体晶圆硅片分片装置专利,可适应不同规格硅棒切割需求

南通元兴智能科技申请半导体晶圆硅片分片装置专利,可适应不同规格硅棒切割需求
2024年12月03日 17:32 金融界火线

金融界2024年12月3日消息,国家知识产权局信息显示,南通元兴智能科技有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆硅片分片装置”的专利,公开号CN 119057957 A,申请日期为2024年10月。

专利摘要显示,本发明提供一种半导体晶圆硅片分片装置,涉及晶圆硅片技术领域,包括支撑架,所述支撑架上设有便于对硅棒进行分片的切割机构,所述支撑架上设有便于对切割机构进行调节的调节机构,所述支撑架上设有便于对切割后硅片进行收集的收集机构,所述切割机构包括第一传动辊、固定圆板、金刚切割线和气缸,所述调节机构包括底板、转轴和调节板,所述收集机构包括放置板。本发明通过设置了可调节的固定圆板和线槽相配合,可在切割前,根据切割的需求,对每个金刚切割线之间的间距进行调节,由于硅棒切割通常在大批量生产中使用,可调节间距的金刚切割线可以适应不同直径和长度的硅棒,可以根据硅棒的直径和切割需求来灵活调整金刚切割线之间的间距。

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