中微公司获得实用新型专利授权：“等离子体约束环、约束组件及等离子体处理装置”_

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“等离子体约束环、约束组件及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202322731827.7，授权日为2024年6月7日。

专利摘要：本实用新型提供一种等离子体约束环、一种等离子体约束组件及等离子体处理装置。所述等离子体约束环包括：层叠的上环和下环，所述上环设置有第一排气通道，所述下环设置有第二排气通道，所述第一排气通道与所述第二排气通道流体连通，所述上环采用硅或碳化的材质制成，所述下环采用铝合金材质制成。本实用新型用于解决等离子体约束环上陶瓷涂层寿命不足，需要频繁更换约束环的问题。

今年以来中微公司新获得专利授权73个，较去年同期增加了4.29%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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