晶合集成获得实用新型专利授权:“一种抛光头及其应用的化学机械抛光装置”

晶合集成获得实用新型专利授权:“一种抛光头及其应用的化学机械抛光装置”
2024年11月16日 03:33 证券之星官方微博

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种抛光头及其应用的化学机械抛光装置”,专利申请号为CN202323557477.3,授权日为2024年11月5日。

专利摘要:本实用新型提供一种抛光头及其应用的化学机械抛光装置,抛光头包括:外壳,其内部设有进风通道和出风通道,所述进风通道和所述出风通道贯通所述外壳的顶部和底部;温度传感器,安装于所述外壳上;以及抛光部,连接于所述外壳的底部;其中,所述进风通道和所述出风通道位于所述抛光部的外侧。本实用新型可提高晶圆的抛光效率,还可降低晶圆的损伤率和生产成本。

今年以来晶合集成新获得专利授权235个,较去年同期增加了15.2%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。

数据来源:天眼查APP

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