证券之星消息,根据天眼查APP数据显示宏微科技(688711)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种RC-IGBT的背面制备方法”,专利申请号为CN201711408753.6,授权日为2024年11月15日。
专利摘要:本发明提供一种RC‑IGBT的背面制备方法,包括NFS背面注入使用两层光刻版,一层用于N+注入,一层用于P+注入,最终背面N+掺杂区呈T型结构,实现寄生二极管VF可调,IGBT压降可调,正向导通时起到抑制Snapback现象的作用,两层光刻版,第一层用于阻挡N+注入,未阻挡部分开口尺寸L1,第二层用于阻挡P+注入,阻挡部分开口尺寸L2,L1>L2,通过调整L1和L2的尺寸可以调整寄生二极管VF,IGBT压降及snapback曲线,本发明结构简单,通过增加一次背面光刻注入工艺,背面注入两张光刻版的尺寸设计和组合,即可实现寄生二极管VF可调,IGBT压降可调,正向导通时起到抑制Snapback现象的作用,增加了设计的灵活度。
今年以来宏微科技新获得专利授权12个,较去年同期增加了9.09%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了5390.84万元,同比增6.78%。
数据来源:天眼查APP
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