证券之星消息，5月20日，半导体设备ETF易方达基金（159558）涨5.58%，成交额11.57亿元。当日份额增加了1.97亿份，最新份额为26.64亿份，近20个交易日份额增加1.05亿份。当日资金净流入10.36亿元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为83.53亿元。半导体设备ETF易方达基金跟踪标的为中证半导体材料设备主题指数，成立（2024-06-06）以来超额回报为-13.5%，近一个月超额回报为-0.16%，管理人为易方达基金公司，基金经理为李栩。
