国林科技:臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程

国林科技:臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程
2026年09月18日 17:00 证券之星

证券之星消息,国林科技(300786)09月18日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者:公司既然有面板级臭氧设备,请问究竟能否用于TGV玻璃基板封装工艺之中?请明确。国林科技董秘:尊敬的投资者,您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程,子公司国林半导体现有产品可以满足上述工艺制程的应用需求。详细产品技术信息请查阅公司官方网站或公司定期报告进行了解。感谢您的关注。投资者:公司在半导体厂务端的产品设备有哪些?国林科技董秘:尊敬的投资者,您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程,子公司国林半导体现有产品可以满足上述工艺制程的应用需求。子公司国林半导体现有产品包括:半导体级超纯臭氧气体发生器、臭氧气体输送系统、半导体级高浓度臭氧水系统、DI-NH3氨水输送系统、二氧化碳水发生器、臭氧水杀菌系统、臭氧气体尾气分解器、臭氧水分解器、臭氧气体浓度检测仪、臭氧水溶浓度检测仪等产品;详细产品技术信息请查阅公司官方网站或公司定期报告进行了解。感谢您的关注。投资者:公司半导体业务应该是跟车仪田一样的,属于半导体核心零部件子系统对吗?国林科技董秘:尊敬的投资者,您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程,子公司国林半导体现有产品可以满足上述工艺制程的应用需求,目前主要用做半导体湿法清洗、薄膜沉积等行业辅助设备使用,占主营业务收入比重较小。感谢您的关注。

本文数据来源于深圳证券交易所互动易,仅供参考不构成投资建议。

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