本报记者 陈红
10月30日晚间，微导纳米发布2023年三季度报告称，前三季度公司实现营收10.22亿元，同比增长165.3%；实现归母净利润1.55亿元。
其中，第三季度增长势头迅猛，微导纳米归母净利润达0.87亿元，同比增长140.32%。公司表示：“公司营业收入快速增长主要是在手订单陆续实现收入转化，专用设备产品验收数量增长所致。”
截至2023年前三季度，微导纳米在手订单约70.82亿元，同比增长258.58%。其中，半导体在手订单同比增长412.15%，光伏在手订单同比增长244.32%。微导纳米表示：“在手订单规模高增，将助力公司未来业绩持续增长。”
拥抱国产薄膜沉积广阔市场
据微导纳米介绍，薄膜沉积设备是半导体晶圆制造的三大核心设备之一，受制于技术壁垒高、研发投入高、技术更新迭代快、客户认证周期长等因素，当前全球薄膜沉积设备市场基本由应用材料、泛林半导体和东京电子所垄断，我国半导体薄膜沉积设备国产化率低，外部制裁下国产替代需求迫切。特别是薄膜沉积设备中的原子层沉积（ALD）设备，2022年国产化率不足2%，美国、荷兰均将ALD设备纳入半导体出口管制范围，包括ALD、化学气相沉积（CVD）在内的部分制程段的薄膜沉积设备也在限制范围内。
微导纳米是国内领先的半导体薄膜沉积设备供应商，公司在国内首次成功将High-k原子层沉积设备应用于28nm集成电路制造前道量产线，实现了国产ALD设备在高介电常数栅氧层材料沉积环节的突破。
凭借关键工艺的领先优势和较全的工艺覆盖度，微导纳米已发展成为国内ALD薄膜沉积领域的佼佼者，并将在芯片微缩化、3D化的后摩尔时代中充分受益。根据西部证券研报显示，预计2025年国内ALD设备市场空间有望达126.6亿元。
在保持ALD产品市场竞争力和占有率的同时，微导纳米不断推出更多具备竞争力的CVD系列产品，解决关键工艺的市场空白，在薄膜沉积设备领域持续发力。
微导纳米表示，CVD产品于今年7月顺利发货至客户端。根据SEMI统计，ALD约占半导体镀膜设备板块11%，PECVD、LPCVD等CVD设备约占镀膜设备的57%，相关设备的覆盖工艺范围较广，新产品的推出将使得公司潜在可触达市场增长四倍。
平台型技术助力产业化
光伏设备是微导纳米的另一优势领域。在全球碳中和的背景下光伏行业快速发展，装机量持续增加，客户产能扩充计划加速。微导纳米基于深厚技术积累，将薄膜沉积技术灵活协同应用，全球首创将ALD技术规模化应用于光伏领域，当前已发展成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一。
在本轮TOPCon扩产浪潮中，微导纳米与行业多家头部客户共同合作，充分发挥了ALD设备的竞争力优势，ALD产品市占率遥遥领先。同时自主研发并率先引入了半导体级的单面镀膜PEALD，管式PECVD氧化与原位掺杂多晶硅等一系列镀膜新技术，开发了行业内首条GW级PE-PolyTOPCon电池工艺整线并推出二代工艺。
在新一代高效电池技术设备方面，微导纳米积极布局，储备未来增长点，已出货XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术的设备，并根据其量产节奏完善相关的技术储备和产品，为光伏电池技术的产业化提供了更多的助力与更多的技术选择。
平台型技术赋能多个赛道，平台化布局初见成效。值得一提的是，微导纳米持续完善技术性平台建设，依托产业化应用中心平台探索先进薄膜沉积技术在其他新兴应用领域的发展机会。在新兴领域，目前已有两款设备进入产业化应用、产业化验证阶段，分别用于柔性电子材料封装和高端装备的微纳制造镀膜。
微导纳米通过构建技术平台型，形成多领域、多品类产品覆盖，一定程度平抑各细分市场波动对公司业绩带来的影响，同时，不断拓宽公司市场规模和成长空间。
（编辑 张明富）
