本报讯 （记者李雯珊）近日，增芯科技12英寸晶圆制造项目在广州增城投产。该项目建设有国内首条、全球第二条12英寸MEMS智能传感器晶圆制造产线。增芯科技总经理张亮介绍，这意味着，公司可以在增城生产芯片产品了。芯片完整的制造流程涉及气相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蚀、离子注入等步骤，分别对应不同设备。该项目已建立起制造系统，整个生产流程能够连贯地运作。后续，公司将通过提升产品良率和产能爬坡，加快产品交付工作。
面向粤港澳大湾区这一全球传感器最大的应用市场，增芯科技专注于MEMS（微机电系统）、先进模拟／混合信号等特色芯片制造技术领域。“公司采取差异化竞争策略，专注于高附加值的MEMS传感器及特色细分产品市场段。”张亮表示。
项目一期产能预计于2025年底达到2万片／月；一期工艺技术采用MEMS力学传感器和130－55纳米成熟制程。
“增芯速度”的形成离不开其背后民营资本力量的支持。据悉，增芯科技12英寸晶圆制造项目是由广州湾区智能传感器产业集团有限公司发起成立的。广州湾区智能传感器产业集团主要由兴橙资本、福建金盛兰和山西新民能源等三家民营资本出资筹建。在国家提倡促进民营经济发展壮大的当下，兴橙资本等股东思想统一、步调一致，以18个月的“增芯速度”完成了项目首条产线的建设，并以此项目为链主，引进落户了越海、广东微技术工研院、中微广州、智达星空等一批能级高、带动力强的骨干项目，为广州东部中心增城开发区打造为大湾区的“硅谷”提供了强劲动力。
（编辑 汪世军）
