本报讯 （记者张文湘 见习记者占健宇）8月25日，记者获悉，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）再迎重要里程碑，该公司先进薄膜设备累计出货量突破500个反应台，产品涵盖低压化学气相沉积（LPCVD）设备、金属薄膜沉积（MDP）设备、介质薄膜沉积（DDP）设备等多款核心机型。此次突破，标志着中微公司在高端薄膜沉积设备领域已实现规模化商用，产品技术、性能稳定性与量产交付能力均获得客户广泛认可，薄膜设备业务已成长为该公司又一核心增长板块，中微公司平台化进程正迈入全面规模化发展的新阶段。
据悉，作为半导体芯片制造的关键设备，薄膜沉积设备是先进逻辑、先进存储、特色器件及先进封装制程中不可或缺的装备。依托“技术创新、产品差异化与知识产权保护”，中微公司已成功研发多款高性能薄膜沉积产品并实现商业化落地，构建起覆盖钨薄膜、金属栅、金属硅化物等多品类的先进薄膜设备组合，全面适配先进芯片制程的严苛工艺需求。
（编辑 王然）
