中科飞测(688361.SH)：正在积极研发纳米图形晶圆缺陷检测设备、关键尺寸量测设备等其他系列设备_

格隆汇11月3日丨中科飞测(688361.SH)在投资者互动平台表示，公司已批量出货产品线涵盖了无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、晶圆介质薄膜量测设备、晶圆金属薄膜量测设备和套刻精度量测设备等系列产品，同时，公司正在积极研发纳米图形晶圆缺陷检测设备、关键尺寸量测设备等其他系列设备，相关产品研发成功之后将进一步提高公司产品线覆盖的广度。