人均产值超350万，董事长：绝大部分零部件已实现国产化！

3月18日晚，我国半导体设备龙头中微公司发布了2023年年报，年报显示，中微公司2023年营收和净利润均实现大幅增长，公司董事长尹志尧称这是“中微成立以来经营业绩最好的一年”。

中微公司2023年年报重点数据一览（图源：IC Research）

另外值得一提的是，中微公司在年报中还披露了一个人均指标，其称，随着劳动生产率不断提升，报告期内人均年化营业收入超过350万元。

这样一个人均产值颇为惊人，对此尹志尧表示，“并不希望再提高人均，提高的话人均负担太重 "。因此，他表示会在保持一定年增长率的情况下去扩大技术队伍，特别是生产和供应厂商队伍。

营收净利润双增长

中微公司业绩创历史新高

据中微公司年报显示，中微公司在过去的一年中，实现了营收62.64亿元，同比增长了32.15%。在净利润方面，更是取得了令人瞩目的成绩，实现了归母净利润17.86亿元，同比增长了高达52.67%。新增订单金额约83.6亿元，较2022年的新增订单增加约20.4亿元，同比增长约32.3%。

中微公司董事长、总经理尹志尧在年报中兴奋地表示，2023年对于中微公司来说，是自成立以来经营业绩最好的一年。这一成果的取得，不仅彰显了中微公司在半导体领域的深厚实力和卓越竞争力，也为公司的未来发展奠定了坚实的基础。

中微公司董事长、总经理尹志尧

从近几年的数据来看，中微公司的归母净利润逐年稳定增长。从2021年至2023年，中微公司的归母净利润分别为10.1亿元、11.7亿元和17.86亿元，呈现出稳健的增长态势。按单季度计算，2023年第一季度至第四季度，中微公司的归母净利润也呈现出持续增长的态势，分别为2.75亿元、7.28亿元、1.57亿元和6.26亿元。

中微公司2021年-2023年主要会计数据和财务指标（来源：中微公司2023年年报）

值得一提的是，中微公司在研发方面的投入也持续增加。2023年，中微公司的研发投入占营收比例达到了20.15%，比2022年提升了0.56个百分点。对研发的大力投入，不仅有助于公司保持技术领先地位，也为未来的产品创新和市场拓展提供了有力支持。

绝大部分刻蚀设备的零部件

已经实现国产化

尹志尧在年度业绩说明上表示，中微公司绝大部分刻蚀设备的零部件已经实现国产化，而且在很短的时间内，将全面实现自主可控的基础。

尹志尧还透露道，在逻辑集成电路制造环节，中微公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于5纳米、5纳米以下器件中若干关键步骤的加工；同时，公司根据先进集成电路厂商的需求持续进行设备开发和工艺优化。在3D NAND芯片制造环节，公司的等离子体刻蚀设备已应用于128层及以上的量产。

中微公司等离子体刻蚀设备（图源：中微公司官网）

对于中微公司2023年的业绩，尹志尧特别提到了公司的等离子体刻蚀设备。该设备占据了公司营业收入的约75.1%，在2021年和2022年分别实现了55.4%和57.1%的增长。而在2023年，这一增长率更是提升到了49.43%，营收达到了47.03亿元。此外，公司的MOCVD设备在2023年也实现了4.62亿元的营收，为公司业绩的增长贡献了一份力量。

据中微公司披露，在过去20年里，公司开发了一个完整系列的15种等离子体刻蚀设备，这些设备能够满足我国95%以上的刻蚀应用需求，并在性能、稳定性等关键指标上达到了先进制程客户的严苛要求。

在谈到业绩增长的原因时，中微公司提到了新增订单额的显著增长。

报告期内，公司新增订单金额达到了约83.6亿元，较2022年的63.2亿元增加了约20.4亿元，同比增长了约32.3%。

其中，刻蚀设备的新增订单额尤为突出，达到了约69.5亿元，同比增长了约60.1%。尽管受终端市场波动影响，2023年MOCVD设备订单同比下降了约72.2%，但公司正在积极调整策略，以应对市场变化。

“刻蚀设备和薄膜设备越来越成为更关键的、市场空间更大的设备品类，各占集成电路设备总市场的22%左右，而且还在持续增长。”尹志尧表示。

为了抓住这一市场机遇，中微公司近两年来一直在积极开发新设备。公司新开发的沉积各种导体薄膜的设备LPCVD和ALD，已有4款设备进入市场，其中3款获得了客户认证并获得了重复性订单。公司还计划在2024年推出超过10款新型薄膜沉积设备，以进一步扩大产品在薄膜沉积领域的覆盖度。公司新开发的硅和锗硅外延EPI设备、晶圆边缘Bevel刻蚀设备等多个新产品，也计划在2024年投入市场验证。

在投资者调研中，中微公司表示，市场机构预测到2026年，全球每年对MOCVD设备的需求将超过800台。对此，中微公司已开发了可应用于Mini LED、Micro LED大规模量产的相关产品，并预计能够覆盖大约75%的MOCVD设备市场。

国产半导体设备强势突围

即将迎来黄金发展期

2023年，是半导体行业低迷的一年。但令人欣喜的是，在这样的背景下，国产半导体设备公司却逆势而上，业绩坚挺。

在目前已经披露预计业绩的半导体公司中，拓荆科技、华海清科、北方华创、晶盛机电、中微公司、至纯科技等设备公司均实现业绩预增。

根据目前披露的数据，拓荆科技的净利润增速最高，预计 2023 年实现净利润约 6 亿元 -7.2 亿元，同比增加 62.84%-95.40%。公司表示，去年持续高强度的研发投入，突破核心技术，在推进产业化和迭代升级各产品系列的过程中取得了重要成果。

此外，北方华创、至纯科技也拿到大笔订单，其2023年新签订单分别超过300亿元和132亿元。

对此尹志尧分析道：“越来越多的客户看好国内设备厂商。现在国内成熟的设备厂商已有 20 多家，不光是中微公司，国内设备企业越做越好，今年、明年这个趋势会发展得更快。”

在美国日益收紧的对华出口管制政策下，国产设备的发展速度预计将超过全球平均水平。在国家产业政策支持、市场需求驱动下，国产替代悄然开花，国产设备已逐步覆盖半导体制造主要工艺环节，成熟制程产品将逐步实现规模化应用。

先进半导体技术遭封锁，反而让国产设备能够得到更多验证机会，促进国产半导体产业链加速完善。

展望2024，市场普遍认为伴随晶圆厂资本开支回升叠加国产机台导入比例提升，国内半导体设备公司将受益。在AI大模型、汽车电子等领域爆发式发展趋势下，AI芯片、汽车搭载芯片需求持续上升，半导体设备行业也将被有力带动。

随着国产设备被整个产业链接纳，未来中国设备将有很大机会进入国际市场，届时，美国的技术封锁策略或许也将失效，正如ASML CEO温宁克曾经所担心的：“完全孤立中国是没有希望的。如果我们不分享技术，他们就会自己去研究。”