辽籍半导体产业集群已经初具规模，有望成为国内半导体装备产业的“第三极”。
作者 | Valencia
芯师爷近日获悉，沈阳新松机器人自动化股份有限公司（下称“新松机器人”）发布公告，其全资子公司沈阳新松半导体设备有限公司（下称“新松半导体”）在北京产权交易所以公开挂牌方式引入战略投资者实施增资扩股。
其中，北京集成电路装备产业投资并购基金（有限合伙）、国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司、中微半导体（上海）有限公司等九家企业通过参与本次公开挂牌对新松半导体进行增资，以合计出资4亿元取得新松半导体新增的8000万元注册资本，公司放弃优先认购权。
图源：新松机器人01.
中国机器人第一股
发力半导体
成立时间仅一年半，新松半导体即获得国家大基金二期垂青，这与其母公司新松机器人脱不开干系。
作为科研机构孵化出来的一家机器人公司，新松机器人于2000年诞生自中国科学院沈阳自动化研究所，命名“新松”旨在纪念“中国机器人之父”、沈阳自动化所原所长蒋新松。作为国家机器人产业化基地，新松机器人在移动机器人(AGV)领域占据了国内95%以上的市场份额，并自2007年起开始向海外市场扩张，打破了中国在这一领域只有进口没有出口的局面。
2009年10月，新松机器人以“机器人”为股票简称在深圳证券交易所挂牌上市，成为“中国机器人第一股”。2018年，新松机器人更是携24个载有透明冰屏的移动机器人首次惊艳亮相韩国平昌冬奥会节目“北京8分钟”，向世界直观展示了中国移动机器人的顶尖技术。
图源：CCTV在集成电路领域，为了打开卡在行业脖子上的枷锁，新松机器人自从2005年起就开始布局半导体产业，直至2023年成立了新松半导体。新松半导体由新松机器人半导体装备事业部发展而来，经近20年的技术沉淀与经验积累，打造了拥有完全自主知识产权的系列产品，技术指标达到国际同类产品水平。
资料显示，新松半导体核心产品主要为真空机械手及集束型设备，包括大气机械手、EFEM、真空机械手及真空传输平台等系列产品，主要应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺环节及领域，广泛服务于硅片生产、晶圆加工、先进封装及封装测试等半导体制造全产业链。
今年3月20日，新松半导体携Centaur真空机械手亮相 SEMICON China 国际半导体展。据称，该款真空机械手具有高传输效率、独立双机械手臂，可胜任不同尺寸规格的晶圆搬运，提供全自研半导体晶圆传输解决方案。
02.
豪华股东天团
纷纷出手
此次增资4亿元，新松机器人表示，公司本次引入战略投资者，一方面促成沈阳新松半导体与战略客户从业务到资本的深度合作，形成产业链协同效应，加速系列产品全面实施国内市场替代进程，促进业务规模的迅速扩张；另一方面本次增资补充了沈阳新松半导体持续扩张的运营资金，加速其产能建设和市场开拓步伐，同时也为其持续技术创新提供资金保障，进一步增强其国际竞争力，扩大品牌影响力。
公告显示，本次增资扩股阵容十分亮眼，包括多家国家和地方基金、头部产业资本及半导体上下游龙头企业：
其中，北京集成电路装备产业投资并购基金以1.3亿元的出资，持股9.2857%，位列第二大股东；国家集成电路产业投资基金二期以1.03亿元的出资，持股7.3571%，成为第三大股东；中微半导体设备（上海）股份有限公司以4000万元的出资，持股2.8571%，成为第四大股东。
图源：新松机器人此外，沈阳机器人产业发展集团、沈阳盛科成果转化投资基金、无锡华海金浦创业投资合伙企业等，也都具有国资背景。本次股东之一的上海岩泉科技有限公司，则是由拓荆科技股份有限公司（下称“拓荆科技”）100%持股。
本次增资完成后，新松机器人将持有新松半导体71.4286%的股权，所有战略投资者合计持有新松半导体28.5714%的股权，新松半导体仍是新松机器人合并报表范围内的控股子公司。
03.
辽宁半导体
且看沈阳
在东北老工业基地辽宁，以半导体为主业的辽籍上市公司已有芯源微、神工股份、拓荆科技、富创精密、连城数控5家，若再加上新三板公司中科仪、新松机器人、拟上市企业和研科技等，辽籍半导体产业集群已经初具规模，有望成为国内半导体装备产业的“第三极”。
据辽宁省社科院产业经济研究所副所长姜瑞春介绍，半导体产业链上游包括零部件、材料和控制单元，目前辽宁拥有富创精密、新松机器人、中科仪、沈阳硅基、中科博微等企业，能够供应反应腔、真空干泵、机械手、控制软件、SOI材料等零部件和控制系统；中游为整机设备制造商，芯源微、拓荆科技、仪表院等企业，可以进行薄膜设备、涂胶显影机、划片机等半导体整机制造和系统集成；下游主要应用于集成电路制造、封测企业，目前辽宁从事集成电路制造的企业主要是中电科第47所和仪表院等研究部门。
值得注意的是，辽宁半导体装备企业主要集中在沈阳。一朝发祥地，两代帝王都——作为中国重型装备制造的摇篮，沈阳正利用其深厚的工业根基，加速向半导体这一高精尖领域迈进，旨在成为连接过去辉煌与未来科技的“东方鲁尔”。相关数据显示，预计到2024年，沈阳的半导体装备产业总产值将会超过100亿元。
放眼沈阳半导体，芯源微、拓荆科技、富创精密、中科仪、和研科技和新松机器人素有“六小虎”之称：
芯源微是国内唯一能够提供前道量产型涂胶显影设备的厂商，同时在前道物理清洗、后道先进封装及化合物半导体等领域也都保持着国内细分市场的龙头地位；
拓荆科技是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD、SACVD、HDPCVD设备厂商，也是国内领先的ALD设备厂商；
富创精密是国内半导体设备精密零部件的领军企业，目前已经成为全球为数不多的能够为7纳米工艺制程半导体设备批量提供精密零部件的厂商；
中科仪是国内唯一在集成电路领域实现批量应用的干式真空泵企业；
和研科技主要生产半导体用划片设备等，是国内半导体专用设备研发制造领军企业；
新松机器人是国内领先的真空机械手及集束型设备的生产制造商。
不仅如此，在上述半导体企业身上，还可以瞥见中科院的身影：
芯源微是由中科院沈阳自动化研究所发起创立的国家级高新技术企业；中科仪持股35.21%的大股东国科科仪控股有限公司系中国科学院控股有限公司100%控股企业；富创精密第一大股东是沈阳先进制造技术产业有限公司，中科院沈阳自动化研究所曾是后者的主要发起股东，于2013年退出；新松机器人则是中科院沈阳自动化研究所控股的创业板上市公司。
“像中科院这种科研院所对于地方相关产业的带动作用非常明显。”新松机器人半导体装备业务负责人程龙对此表示。
不仅如此，为开启老工业基地的芯征程，辽宁省政府于2022年11月发布了《辽宁省培壮大集成电路装备产业集群若干措施》，在企业销售规模奖励、投资建设项目、新产品销售奖励、研发费用补助、人才引进激励等多个维度大力支持辽宁省集成电路装备产业发展。
图源：辽宁省人民政府
