东莞市鼎力自动化科技取得一种碳化硅晶体生长的单晶生长炉专利,实现对炉体内部温场的精确把控

东莞市鼎力自动化科技取得一种碳化硅晶体生长的单晶生长炉专利,实现对炉体内部温场的精确把控
2024年09月19日 04:55 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年9月19日消息,天眼查知识产权信息显示,东莞市鼎力自动化科技有限公司取得一项名为“一种碳化硅晶体生长的单晶生长炉“,授权公告号CN202410883646.2,申请日期为2024年7月。

专利摘要显示,本发明公开了一种碳化硅晶体生长的单晶生长炉,本发明涉及碳化硅晶体生长技术领域,包括炉体,炉体采用高纯度氧化铝陶瓷材料制成,具有优良的耐高温性能,炉体顶部法兰安装有炉盖,炉盖表面中部固定连接有副炉室,副炉室顶部安装有提升组件,炉盖表面边侧法兰安装有视觉传感器,炉盖表面远离视觉传感器的边侧安装有气氛组件,炉盖朝向炉体的一面中部固定安装有存温组件,炉体内侧中部安装有陶瓷加热器。该碳化硅晶体生长的单晶生长炉,通过短接管和粗环管的使用,将硅源和碳源填充满整个炉体,使得气氛在炉体内侧的均匀分布,实现对炉体内部温场的明确划分与独立控制,实现对炉体内部温场的精确把控。

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