本文源自:金融界
金融界2024年11月11日消息,国家知识产权局信息显示,域鑫科技(惠州)有限公司取得一项名为“半导体气路及其密封圈膜片结构”的专利,授权公告号 CN 221974270 U,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本实用新型涉及半导体气路密封技术领域,公开了一种半导体气路及其密封圈膜片结构,其中密封圈膜片结构包括:膜片,所述膜片上开设有密封口,所述密封口的设置有背向所述密封口延伸形成的具有弧度的引导槽;密封圈,所述密封圈与所述密封口的尺寸配合并卡装于所述密封口内。在安装密封圈时,膜片在密封口的部分弯折,使引导槽和密封口的两端错开,将密封圈的一端放入引导槽并顺着引导槽进入两端错开的密封口内,然后解除膜片的弯折状态,密封口的两端合并,将密封圈限制在安装孔内。引导槽的设置优化了密封圈的安装流程,使密封圈的安装过程简化,提高了密封圈的安装效率,且降低了产品的安装成本。
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