本文源自:金融界
金融界2024年11月29日消息，国家知识产权局信息显示，苏州苏纳光电有限公司取得一项名为“一种晶圆镀膜用夹持治具”的专利，授权公告号 CN 222064654 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种晶圆镀膜用夹持治具，包括第一夹持件和第二夹持件，第一夹持件设有贯穿通孔，贯穿通孔与晶圆相配合，第一夹持件和第二夹持件相连接以夹持晶圆，当第一夹持件和第二夹持件夹持晶圆在其两者之间时，第一夹持件、第二夹持件和晶圆围成一封闭的容纳空间，晶圆相对待镀膜的一面暴露在容纳空间内，贯穿通孔与容纳空间相连通，并可自贯穿通孔处对晶圆暴露的一面进行镀膜。本实用新型通过第一夹持件和第二夹持件夹持晶圆，使得晶圆的背面被夹持在封闭的容纳空间内，有效的避免划伤损坏晶圆背面的功能区，也能有效的防止外界的杂质或者镀膜时的膜料污染晶圆背面的功能区，提高晶圆镀膜的良品率，有效的提高镀膜效率。
