本文源自:金融界
金融界2024年12月3日消息，国家知识产权局信息显示，环诚智能装备（成都）有限公司申请一项名为“一种撕膜装置”的专利，公开号 CN 119059062 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆加工技术领域，公开了一种撕膜装置，用于待撕膜部件，待撕膜部件包括依次重叠的设置的粘贴膜和保护膜，保护膜具有相对于粘贴膜突出的边缘部，撕膜装置包括供料组件、夹持撕膜组件以及吸附定位组件。本发明公开的撕膜装置通过供料组件、夹持撕膜组件以及吸附定位组件之间的配合，能够实现自动化的将保护膜从对应的待撕膜部件上撕下，从而为后续实现晶圆的自动化倒膜提供可能。并且，基于在撕膜过程中夹持撕膜组件的夹持件和吸附定位组件的第一吸附件将沿X轴方向朝相反的方向移动，因此能够有效的提升将保护膜从对应的待撕膜部件上撕下时的效率。
