1、指标评估的对象不同：
灵敏度评估的对象是传感器的输出和输入之间的关系。分辨率是指传感器可感受到的被测量的最小变化的能力。精度用来评估传感器测量系统测量精度。
2、表示方法不同：
灵敏度表示为：输出量的增量与引起该增量的相应输入量增量之比。用S表示灵敏度。它是输出一输入特性曲线的斜率。灵敏度的量纲是输出、输入量的量纲之比。分辨率常用满量程中能使输出量产生阶跃变化的输入量中的最大变化值作为衡量分辨率的指标。精度常用精确度来表示。
3、精度是表示测量值离散的程度；灵敏度指示器的相对于被测量变化的位移率；分辨力是显示装置能有效辨别的最小的示值差。
精度：是表示测量值离散的程度。在对一个量进行无穷多次测量时，测量结果会呈现下图所示的正态分布。测量仪表（包括传感器）的精度就是指测量结果 99.73% 的可能（这里跳过关于统计学知识的讨论）偏离真值的范围。对于测量仪器来说，精度是一个定性的概念，一般不用数值表达。
和精度相类似的仪器指标还有准确度：指在一定实验条件下多次测定的平均值与真值相符合的程度，以误差来表示。例如：
仪器允许产生的误差为量程的0.5%。即准确度0.5%或0.5级；
仪器允许产生的误差为正负某个数值。
精度和准确度有相似性，但两者的定义是不同的。精度是表示测量值离散的程度。准确度表示观测值与真值的接近程度。平常所说的“精度”实际上很多时候是指准确度。
灵敏度：指示指（输出）的相对于被测量变化的位移率。在数值上指测量仪器响应的变化除以对应的激励变化。由于灵敏度可能与激励值有关。所以不同仪器对于灵敏度的数值或表达方式的会有所不同。对于传感器来说，常见的是以传感器的阙值（能使传感器输出端产生可测变化量的被测量的最小变化量）来表示。
分辨力：显示装置能有效辨别的最小的示值差。对于数字式显示装置，这就是当变化一个末位有效数字时其示值的变化。此概念亦适用于记录仪
